武汉曙尔生物科技有限公司
1-(4-丁氧基-1-萘基)四氢噻吩硫鎓全氟丁磺酸盐
  • 品牌:曙尔
  • 产地:湖北
  • 型号:可以分装
  • 货号:shuer2114
  • 纯度:99
  • cas:209482-18-8
  • 价格: ¥100/克
  • 发布日期: 2026-11-04
  • 更新日期: 2026-11-04
产品详请
产地 湖北
货号 shuer2114
品牌 曙尔
用途 中间体材料
包装规格 可以分装
CAS编号
纯度 99%
别名 1-(4-丁氧基-1-萘基)四氢噻吩硫鎓全氟丁磺酸盐
包装 氟化瓶包装
级别 其他

中文同义词DYPR0358;1-(4-丁氧基-1-萘基)四氢-1H-噻吩-1-鎓-1,1,2,2,3,3,4,4,4-壬氟丁烷-1-磺酸盐;1-(4-丁氧基-1-萘基)四氢噻吩硫鎓全氟丁磺酸盐;1-(4-丁氧基-1-萘基)四氢-1H-噻吩-1-鎓:全氟丁基磺酸盐(1:1);1-(4-丁氧基-1-萘基)四氢-1H-噻吩-1-鎓:全氟丁基磺酸盐;1-(4-丁氧基萘-1-基)四氢-1H-噻吩-1-阳离子1,1,2,2,3,3,4,4,4-九氟丁烷-1-磺酸盐

英文名称1-(4-Butoxy-1-naphthalenyl)tetrahydro-thiopheniumsaltwith1,1,2,2,3,3,4,4,4-nonafluoro-1-butanesulfonicacid(1:1)

CAS号209482-18-8

分子式C22H23F9O4S2

分子量586.53

CAS:209482‑18‑8,分子式C22H23F9O4S2,分子量 586.53,属于硫鎓盐类光致产酸剂(PAG),是 ArF 光刻胶主流专用产酸剂之一。常温多为白色至浅米色固体粉末,可溶于 PGMEA、环己酮、乙腈等光刻常用溶剂,难溶于水;热稳定性较好,适合光刻胶烘烤工艺,需2–8℃避光密封储存,见光易分解产酸。
分子由萘基取代四氢噻吩硫鎓阳离子 + 全氟丁磺酸根阴离子构成,萘环带来长波吸收,相比普通三芳基硫鎓,吸光性能更适配 DUV 曝光;曝光后 C-S 键断裂,释放全氟丁磺酸(PFBS),酸强度适中、扩散可控,可催化光刻胶树脂脱保护,实现高分辨图案成型。
核心用途:ArF 干法 / 湿法光刻胶、底部抗反射涂层(BARC)、离子注入光刻材料,用于半导体晶圆微纳图案制备;也少量用于高端阳离子光固化体系。

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